Dans une usine de composants électroniques, une fuite a lieu lors du remplacement de l’une des 2 bouteilles de silane. Un technicien d’une entreprise sous-traitante remet en pression le circuit de distribution après le changement de bouteille lorsque le rejet se produit. La fuite sur une vanne à commande pneumatique provoque l’apparition d’une petite flamme durant quelques secondes. La détection fixe (gaz et flamme) entraîne la fermeture des vannes de sécurité de l’installation. Le technicien présent actionne également l’arrêt d’urgence (mêmes effets que la détection fixe).

Une défaillance de la vanne pneumatique a entraîné le passage du silane dans la ‘chambre opérateur’ de celle-ci, puis l’émission à l’atmosphère. Le rejet se poursuit ensuite malgré la mise en sécurité de l’unité, la canalisation en amont de la vanne défectueuse étant toujours sous pression. Des concentrations de silane jusqu’à 40 ppm sont détectées à 1 m de la fuite.

L’exploitant met en place un périmètre de sécurité de 30 m, évacue l’atelier voisin et alerte les pompiers. A leur arrivée, les services de secours évacuent l’usine, étendent le périmètre à 100 m autour de l’établissement puis purgent le gaz résiduel des installations sous protection de moyens d’extinction à CO2. L’accident n’a pas fait de blessé.

Plusieurs mesures sont prises : remplacement de la seconde vanne pneumatique de même type, intégration dans le programme de maintenance d’un changement annuel de ces vannes, étude de faisabilité pour la réalisation de tests d’étanchéité avant remise en pression du circuit silane lors de l’échange des bouteilles.