Dans une usine de microélectronique, un incendie se déclare dans un atelier (gravure de circuit), à partir d’un des dispositifs de traitement des gaz équipant les machines de fabrication. Ce dispositif assure l’incinération des gaz de procédé (riches en C2F6) à l’aide de méthane puis le refroidissement à l’eau avant entrée sur l’installation générale de traitement des gaz du site (avec laveurs). Equipant chacune des 19 machines, il est muni de diverses sécurités : débit et pression d’eau provoquant la mise en sécurité du site, température d’incinération, détection de méthane et de fluor asservis chacun à la coupure de l’alimentation en méthane, niveau d’eau). La chronologie probable est la suivante : de violents orages conduisent à la destruction de la commande des pompes d’approvisionnement en eau et à la chute de la pression du réseau. Les alarmes qui apparaissent ne provoquent pas l’arrêt du dispositif d’abattement des gaz, comme prévu. Le personnel d’astreinte est appelé. Une alarme sur détection de CH4 apparaît sans provoquer la fermeture de la vanne d’alimentation. Le personnel est évacué, le POI déclenché. 3 têtes de sprinklers sont activées au droit d’une seule machine. Les pompiers sont appelés. A l’aide du réseau d’eau de secours et après coupure générale d’alimentation en gaz, le sinistre est maîtrisé. Les effluents sont drainés vers la station de traitement du site. La procédure d’alimentation eau secours est revue.